光電直讀光譜儀雖然本身測量準確度很高，但測定試樣中元素含量時， 所得結果與真實含量通常不一致，存在一定誤差，并且受諸多因素的影響，有的材料本身含量就很低。下面就誤差的種類、來源及如何避免誤差進行分析。

根據誤差的性質及產生原因， 誤差可分為下面幾種：

　　1.系統誤差的來源

　　(1)標樣和試樣中的含量和化學組成不完全相同時，可能引起基體線和分析線的強度改變，從而引入誤差。

　　(2)標樣和試樣的物理性能不完全相同時，激發的特征譜線會有差別從而產生系統誤差。

　　(3)澆注狀態的鋼樣與經過退火、淬火、回火、熱軋、鍛壓狀態的鋼樣金屬組織結構不相同時，測出的數據會有所差別。