ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。

X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。

相對應的X射線熒光光譜儀有：

1. 手持式ROHS分析儀

   

2. 斯派克臺式小焦點X射線熒光光譜儀